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靶材為什要測(cè)量密度?

靶材為什要測(cè)量密度?秒準(zhǔn)靶材密度計(jì)的優(yōu)勢(shì)在哪里?

靶材本身的致密度,靶材的致密度很高時(shí),不易吸附,無(wú)空隙,背靶易脫落。

為了減少靶材固體中的氣孔,提高濺射薄膜的性能,通常要求靶材具有較高的密度。靶材的密度不僅影響濺射速率,還影響著薄膜的電學(xué)和光學(xué)性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和強(qiáng)度使靶材能更好地承受濺射過(guò)程中的熱應(yīng)力。密度也是靶材的關(guān)鍵性能指標(biāo)之一。

靶材在生產(chǎn)制造的過(guò)程中需要對(duì)其密度進(jìn)行測(cè)試,采用的方法是阿基米德原理,儀器自動(dòng)計(jì)算出靶材密度g/cm3。目前生產(chǎn)的測(cè)試采用人工對(duì)靶材進(jìn)行測(cè)量,由于靶材重量大,操作不便,不利于手動(dòng)計(jì)算測(cè)試密度。因此需要一種專用密度儀進(jìn)行操作。因此解決這一問(wèn)題就顯得十分必要。

如何測(cè)量靶材的密度?

陶瓷靶材密度測(cè)試儀MAY-AE10應(yīng)用于各種靶材材料。按材質(zhì)分類可分為金屬靶材(純金屬鋁、鈦、銅、鉭等)、合金靶材(鎳鉻合金、鎳鈷合金等)、陶瓷化合物靶材(氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等)。按應(yīng)用領(lǐng)域分類靶材可分為半導(dǎo)體芯片靶材、平板顯示靶材、太陽(yáng)能電池靶材、信息存儲(chǔ)靶材等等都可以測(cè)密度。
原理:根據(jù)ASTM B311、B328;MPIF 42、57;JIS Z2505、Z2506、GB/T5163、ISO2738??蛇m用于采用阿基米德原理浮力法,準(zhǔn)確直讀量測(cè)數(shù)值。

秒準(zhǔn)靶材密度計(jì)經(jīng)過(guò)市場(chǎng)10幾年的驗(yàn)證以及不斷的研發(fā)升級(jí),現(xiàn)已具備以下特點(diǎn):
1、數(shù)顯直讀,無(wú)需人工計(jì)算,直接顯示密度和體積等參數(shù)。

2、全彩7寸觸摸屏操作,自帶打印功能,可編輯帶公司名稱物料編碼的數(shù)據(jù)報(bào)告。
3、采用梅特勒原裝進(jìn)口傳感器,測(cè)量精準(zhǔn)、操作簡(jiǎn)便、穩(wěn)定耐用。
4、具有實(shí)際水溫補(bǔ)償功能,可適應(yīng)測(cè)試環(huán)境變化。

5、可設(shè)定媒介液密度,使用水作介質(zhì),也可使用其它液體介質(zhì)。
6、采用SUS304一體水槽,耐腐蝕耐摔,底部設(shè)計(jì)靜音萬(wàn)向輪,便于移動(dòng)。

7、含USB通信接口,方便與電腦連接。

8、內(nèi)置靜音排水系統(tǒng),方便換水。
功能描述:

1、直接讀取靶材工件的密度和體積。

特別備注:秒準(zhǔn)靶材密度計(jì)支持非標(biāo)定制,已經(jīng)為多家用戶實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化密度測(cè)試儀非標(biāo)定制,搭配機(jī)械手/吊機(jī),自動(dòng)完成密度測(cè)試,自動(dòng)輸出數(shù)據(jù)。
技術(shù)參數(shù):

品牌

MAYZUM(保修期:三年)

型號(hào)

MAY-AE10

MAY-AE30

MAY-AE50

MAY-AE80

最大稱重

0.1g-10kg

0.1g-30kg

0.5g-50kg

2g-80kg

密度精度

0.001 g/cm3

密度范圍

0.001~99.999g/cm3

水槽尺寸

水槽尺寸:1.2*1*1.2m(長(zhǎng)寬高),依據(jù)客戶工件尺寸定制最終尺寸

測(cè)量時(shí)間

約5秒

測(cè)量步驟

放水中吊籃上,按保存鍵密度和體積直接顯示,并打印數(shù)據(jù)報(bào)告。
多孔材料、粉末測(cè)試步驟依據(jù)國(guó)標(biāo)請(qǐng)參考隨機(jī)說(shuō)明書(shū)

結(jié)果顯示

密度,體積,比重值

參數(shù)設(shè)定

水溫設(shè)定、媒介液體密度設(shè)定

校正方式

一鍵自動(dòng)校正

輸出方式

RS-232C標(biāo)準(zhǔn)通信接口、方便測(cè)試數(shù)據(jù)輸出與打印

溫濕度范圍

允許環(huán)境溫度:0~45℃;允許相對(duì)濕度:80%以內(nèi)

電    源

AC~220V / 50HZ(出口電源需定制,訂貨前提前注明即可)

操作面板

7寸觸摸屏

標(biāo)準(zhǔn)配件

①主機(jī)一臺(tái)、②測(cè)量組件一套、③電源變壓器一個(gè)、④打印紙1卷


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